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【特徴】●一度に大量の小口径ウェハーを効率的に洗浄可能です。●小口径ウェハーの洗浄・乾燥用途に適しています。●ビーカー等の容器で簡単に洗浄できる円盤形状です。【仕様】●材質：PFA（フッ素樹脂）●適用ウェハー径（φmm）：20〜27●収納数：24枚●溝ピッチ：15°●サイズ（mm）：φ86×21●型番：小