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【特徴】●VPWE7000AR-XWT専用チップです。【仕様】●材質：アルミニウム（表面：硬質アルマイト加工）●耐熱温度：100℃●基部全長：79mm●型番：VWT-5R-AR●適応ウェハー：300mm用●先端サイズ（mm）：φ127●重量（g）：100●PEEK