【特徴】●300mmウェハー出荷容器です。●SEMI規格準拠のロードポートに対応しています。●手動での開閉でも冶具は不要です。【仕様】●ウェハー径（mm）：Φ300●収納枚数：25枚●材質：本体／ポリカーボネート、溝板／PBT（ポリブチレンテレフタレート）●外寸法：（幅）389.5×（長さ）341.8×（高さ）330.5mm●溝ピッチ：10mm●フィルター（1枚）付●SEMI規格準拠

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